152 Nano-Semiconductors: Devices and Technology
16. Kuhn, K., M. Agostinelli, S. Ahmed, S. Chanbers, S. Cea, S. Christensen, P. Fischer,
J. Gong, C. Kardas, T. Letson, L. Henning, A. Murthy, H. Muthali, B. Obradovic, P.
Packan, S.W. Pae, I. Post, S. Putna, K. Raol, A. Roskowski, R. Soman, T. Thomas, P.
Vandervoorn, M. Weiss, and I. Young. 2002. A 90nm communication technology fea-
turing SiGe HBT transistors, RF CMOS, precision R-L-C RF elements and 1 μm
2
6-T
SRAM cell. 2002 IEDM Tech. Dig., pp. 73–76.
17. Heinemann, B., R. Barth, D. Bolze, J. Drews, P. Formanek, O. Fursenko, M. Glante, K.
Lowatzki, A. Gregor, U. Haak, W. Hoppner, D. Knoll, R. Kurps, S. Marschmeyer, S.
Orlowski, H. Rucker, P. Schley, D. Schmidt, R. Scholz, W. Winkler, ...